Kaip sumažinti alyvos užterštumą didelės{0}}vakuuminės difuzijos siurbliuose

Mar 10, 2026

1. Dizaino funkcijos ir techninės įrangos sprendimai (svarbiausia)

Įdiekite pertvarą arba skėtinį{0}}tipo alyvos gaudyklę
Labirinto{0}}stiliaus pertvara tarp difuzijos siurblio išleidimo angos ir vakuuminės kameros padeda užkirsti kelią alyvos garams patekti tiesiai į kamerą.

Naudokite šalčio gaudykles (veiksmingiausias sprendimas)
Šalčio gaudyklė, esanti virš siurblio, kondensuoja alyvos garus, kol jie pasiekia kamerą. Aušinimas gali būti užtikrinamas skystu azotu, atšaldytu vandeniu arba šaldymo sistema. Tai vienas iš efektyviausių būdų, kaip užkirsti kelią atgaliniam srautui.

Pasirinkite žemo{0}}garų-slėgio difuzijos siurblio skysčius
Naudokite aukštos -kokybės silikonines{1}} alyvas, pvz., „Dow Corning DC-704“ difuzijos siurblio skystį arba „Dow Corning DC-705“ difuzijos siurblio skystį. Mažesnio garų slėgio skysčiai žymiai sumažina užteršimo riziką.

2. Gera veiklos praktika (dažnai nepaisoma)

Laikykitės teisingos paleidimo{0}}ir išjungimo sekos
Visada leiskite difuziniam siurbliui pasiekti darbinę temperatūrą prieš pradedant pilną siurbimą. Išjungdami pirmiausia išjunkite šildytuvą ir leiskite siurbliui atvėsti prieš išjungdami priekinį siurblį. Staigus priekinės linijos siurbimo praradimas, kai siurblys yra karštas, gali sukelti didelį alyvos srautą atgal.

Niekada neišleiskite oro iš siurblio, kai jis karštas
Oro patekimas į karšto difuzijos siurblį gali greitai oksiduoti ir suskaidyti siurblio alyvą, todėl susidaro teršalai ir padidėja alyvos pernešimo rizika.

Palaikykite stabilų ir tinkamą aušinimą
Svarbus tinkamas aušinimo vandens srautas. Prastas aušinimas sumažina garų kondensacijos efektyvumą ir padidina tikimybę, kad alyvos garai migruos prieš srovę.

3. Techninė priežiūra ir įprastinė priežiūra

Reguliariai keiskite siurblio alyvą
Nelaukite, kol aliejus taps tamsus arba klampus. Senstanti alyva turi didesnį garų slėgį ir yra labiau linkusi į užteršimą ir atgalinį srautą.

Laikykite siurblio vidų švarų
Periodiškai valykite siurblio korpusą, purkštuko bloką ir pertvaras. Alyvos likučiai ir nuosėdos gali būti vėl{1}}įtraukti į garų srautą.

Palaikykite gerą priekinės linijos vakuumą
Jei priekinio siurblio slėgis yra per didelis, garų srovė tampa nestabili, o tai padidina alyvos srautą atgal.

4. Išplėstinės priemonės, skirtos itin-švarioms programoms

Įdiekite didelio{0}}vakuuminio izoliavimo vožtuvą
Vožtuvas tarp kameros ir difuzijos siurblio leidžia visiškai izoliuoti sistemą, kai siurblys nenaudojamas, taip užkertant kelią alyvos garų migracijai.

Naudokite siurblius be alyvos{0}}, kur švara yra labai svarbi
Tokiems tikslams kaip puslaidininkių apdorojimas arba tiksli optika, siekiant visiškai pašalinti alyvos užteršimą, daugelis sistemų difuzijos siurblius pakeičia turbomolekuliniais siurbliais, pvz., gaminamais Pfeiffer Vacuum arba Edwards Vacuum.